Fraunhofer-Institut für Silicatforschung ISCDie Möglichkeit, viele Strukturierungstechniken zu nutzen, die sehr gute Haftung auf den unterschiedlichsten Materialien sowie kontrolliert einstellbare optische Eigenschaften zeigen, dass ORMOCER®-Schichten zur Herstellung von optischen Mikrosystemen hervorragend geeignet sind.
Die Kompatibilität zur herkömmlichen Dünnfilmtechnologie, anspruchslose Verarbeitung (Härtetemperatur < 170 °C unter Normalatmosphäre) und Möglichkeiten der Erzeugung von Mikrostrukturen (z. B. Wellenleiter, Strahlverzweiger) garantieren ein Höchstmaß an Flexibilität und Anpassungsmöglichkeiten, wobei ORMOCER®-Schichten ein Negativresist-Verhalten zeigen.